通訊員 蘇濱 淄博報(bào)道

　　淄博高新區(qū)與清華大學(xué)合作共建的國(guó)家MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))研究院產(chǎn)業(yè)化基地一角

　　一枚小器件如何成就電子信息產(chǎn)業(yè)的大發(fā)展?記者在山東淄博高新區(qū)MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))產(chǎn)業(yè)園找到了答案。MEMS是指結(jié)構(gòu)尺寸在微米量級(jí)的，由微機(jī)械機(jī)構(gòu)、微執(zhí)行器、微集成電路、微傳感器等器件組成的智能傳感微系統(tǒng)，以體積小、功耗低、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)，成為智能終端的核心交互器件，可廣泛應(yīng)用于航空航天等高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。

　　淄博高新區(qū)MEMS產(chǎn)業(yè)園可以提供圍繞MEMS芯片、集成電路和半導(dǎo)體化合物等產(chǎn)業(yè)鏈上的研究、設(shè)計(jì)、制造、封裝、測(cè)試和應(yīng)用等技術(shù)服務(wù)和發(fā)展。目前，已有90余家企業(yè)入園發(fā)展，IC卡封裝測(cè)試和醫(yī)院智能護(hù)理通信領(lǐng)域的產(chǎn)能及銷量居全國(guó)首位。一枚小小的芯片讓淄博市電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展處于領(lǐng)先狀態(tài)，未來(lái)淄博將著力打造全球領(lǐng)先的國(guó)際化MEMS產(chǎn)業(yè)示范基地和千億級(jí)產(chǎn)業(yè)園區(qū)。

　　“芯”機(jī)遇 院士帶動(dòng)產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展

　　“MEMS產(chǎn)業(yè)本身就是信息產(chǎn)業(yè)的一個(gè)重要發(fā)展方向，也是傳感器和智能微系統(tǒng)行業(yè)顛覆性技術(shù)。”中國(guó)工程院院士、清華大學(xué)副校長(zhǎng)尤政在接受記者采訪時(shí)表示。2010年，淄博高新區(qū)與清華大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院成立MEMS產(chǎn)業(yè)研究院，共同搭建MEMS中試代工平臺(tái)、打造微系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化基地，引領(lǐng)國(guó)內(nèi)MEMS器件產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。

　　目前，已有90余家企業(yè)入駐MEMS園區(qū)，IC卡封裝測(cè)試和醫(yī)院智能護(hù)理通信領(lǐng)域的產(chǎn)能及銷量居全國(guó)首位

　　在淄博高新區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)園的展廳內(nèi)，記者看到了MEMS研究院自主研發(fā)的三款芯片，MEMS陀螺儀實(shí)現(xiàn)了原有兩斤重的傳統(tǒng)機(jī)械陀螺儀的所有功能，它的芯片只有綠豆大小，但是探測(cè)觸角卻精準(zhǔn)到納米級(jí)，達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平。

　　近年來(lái)，淄博始終與MEMS產(chǎn)業(yè)“新”“芯”相印，把MEMS產(chǎn)業(yè)作為做大做強(qiáng)電子信息產(chǎn)業(yè)的主攻方向來(lái)抓。2018年、2020年淄博高新區(qū)舉辦的兩屆MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展高峰論壇，成為了MEMS領(lǐng)域內(nèi)的盛會(huì)，國(guó)內(nèi)MEMS領(lǐng)域頂尖的技術(shù)專家、知名企業(yè)家、投資機(jī)構(gòu)負(fù)責(zé)人等150余人參加論壇，共商MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

　　自2018年首屆論壇以來(lái)，淄博高新區(qū)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展呈現(xiàn)爆發(fā)式增長(zhǎng)，每年產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值增速均超30%，汽車MEMS陀螺、壓電陶瓷MEMS器件、濺射薄膜工藝(淄博)協(xié)同創(chuàng)新中心項(xiàng)目等高端產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目落地園區(qū)，形成了集MEMS芯片設(shè)計(jì)研發(fā)、工藝加工、封裝測(cè)試、產(chǎn)品應(yīng)用等為一體的綜合性研發(fā)產(chǎn)業(yè)基地，MEMS芯片產(chǎn)業(yè)已經(jīng)成為引領(lǐng)區(qū)域高質(zhì)量發(fā)展的“芯”動(dòng)能。

　　“芯”動(dòng)能 布局生態(tài)鏈培育領(lǐng)軍企業(yè)

　　“淄博的產(chǎn)業(yè)布局在不斷向信息化、自動(dòng)化的方向發(fā)展，MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展將在淄博未來(lái)發(fā)展中占據(jù)非常重要的位置，也將發(fā)揮更大的作用。”中國(guó)工程院院士、清華大學(xué)副校長(zhǎng)尤政在今年5月22日至23日舉行的第二屆中國(guó)(淄博)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展高峰論壇上，對(duì)近年來(lái)淄博的MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展和投資環(huán)境給予了充分肯定。

　　由12名國(guó)際知名MEMS專家組成的淄博高新區(qū)MEMS研究院專家委員會(huì)

　　栽下梧桐樹，引來(lái)金鳳凰。近年來(lái)，淄博高新區(qū)不斷布局MEMS產(chǎn)業(yè)生態(tài)全鏈條，MEMS園區(qū)6英寸的生產(chǎn)制造平臺(tái)為企業(yè)提供研發(fā)支持，MEMS專家委員會(huì)為企業(yè)提供技術(shù)方面的支持，產(chǎn)業(yè)加速器為企業(yè)提供小批量化、專業(yè)化的支持，園區(qū)成立的半導(dǎo)體基金為企業(yè)提供資金方面的支持，“淄博高新區(qū)盯緊整個(gè)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈，本著打造生態(tài)沿鏈聚集的方式，為入駐MEMS園區(qū)的企業(yè)提供全生態(tài)的服務(wù)，讓企業(yè)拎包入駐，發(fā)展無(wú)后顧之憂。”淄博高新區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)園管委會(huì)主任牟向峰告訴記者。

　　目前，MEMS產(chǎn)業(yè)園已有6個(gè)高端產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目和90余家企業(yè)入園發(fā)展，“這里的資源和政策對(duì)我們企業(yè)的發(fā)展和新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)營(yíng)造了一個(gè)非常好的沃土。”山東佰測(cè)傳感科技股份有限公司是首批入駐MEMS產(chǎn)業(yè)園的企業(yè)，總經(jīng)理丁立新說(shuō)，選擇落戶淄博高新區(qū)MEMS產(chǎn)業(yè)園，正是看中了MEMS研究院的科技優(yōu)勢(shì)，以及淄博高新區(qū)雄厚的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)和完備的產(chǎn)業(yè)鏈條。

　　MEMS產(chǎn)業(yè)園正在形成良好的產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系，這里將聚集更多MEMS產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)，并向全國(guó)輻射。

　　“芯”未來(lái) 開(kāi)啟推動(dòng)產(chǎn)業(yè)升級(jí)強(qiáng)力引擎

　　MEMS展廳內(nèi)展示的園區(qū)企業(yè)產(chǎn)品

　　在今年2月份的淄博市重大項(xiàng)目集中開(kāi)工儀式上，北京綠能芯創(chuàng)碳化硅芯片項(xiàng)目尤為引人矚目，該項(xiàng)目建設(shè)的6吋碳化硅芯片生產(chǎn)線，總投資20億元，是世界第三條，也是國(guó)內(nèi)第一條達(dá)到量產(chǎn)規(guī)模的碳化硅芯片產(chǎn)線。

　　“作為科技型企業(yè)，我們最關(guān)心的就是投資環(huán)境，在淄博考察后發(fā)現(xiàn)淄博高新區(qū)的相關(guān)配套設(shè)施，上下游產(chǎn)業(yè)、資金以及各方面的人才扶持政策都非常到位，這是我們落戶淄博的最主要原因。”淄博綠能芯創(chuàng)電子科技有限公司董事長(zhǎng)陳本昌對(duì)記者說(shuō)，目前該項(xiàng)目正在建設(shè)當(dāng)中，預(yù)計(jì)今年年底將投入生產(chǎn)，投產(chǎn)后，產(chǎn)值可達(dá)到30億并聯(lián)合國(guó)內(nèi)的上下游企業(yè)、高校院所等單位，輻射國(guó)內(nèi)，帶動(dòng)超過(guò)千億的產(chǎn)業(yè)鏈。

　　建筑面積33.5萬(wàn)平米的MEMS產(chǎn)業(yè)基地二期項(xiàng)目正在建設(shè)當(dāng)中

　　目前，建筑面積33.5萬(wàn)平米的MEMS產(chǎn)業(yè)基地二期項(xiàng)目正在建設(shè)當(dāng)中，共建設(shè)6棟廠房，1、2號(hào)廠房今年7月底已經(jīng)竣工，剩余廠房將于今年年底前竣工。已簽約的新科實(shí)業(yè)(TDK)、綠能芯創(chuàng)、宏榮電子、深圳麥姆斯、思科萊斯、航天四十四所等6個(gè)高端產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目即將入駐，預(yù)計(jì)項(xiàng)目建成后可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)值232億元。

　　建成后的MEMS產(chǎn)業(yè)園將成為淄博現(xiàn)代信息產(chǎn)業(yè)的聚集區(qū)，成為集MEMS器件設(shè)計(jì)、制造、封裝、測(cè)試、系統(tǒng)應(yīng)用于一體的國(guó)內(nèi)一流產(chǎn)、學(xué)、研、用結(jié)合的新產(chǎn)業(yè)生態(tài)，打造全球領(lǐng)先的國(guó)際化MEMS產(chǎn)業(yè)示范基地和千億級(jí)產(chǎn)業(yè)園區(qū)，成為推動(dòng)淄博產(chǎn)業(yè)升級(jí)的強(qiáng)力引擎。